7月9日，由当前我国国外集成电路创新第一阵容主办的”2022集成电路产业链协同创新迅速发展交流会”以六大会场加及网络连线的多种形式同步盛大举智能汽车品牌排行榜行。来自东方集成电路全产业链各环节的优秀中小企业 、高校和科研院所的千余位属于参会，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海余老师师受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业新型技术创新奖（简称“IC创新奖”），东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI），得到新型技术创新奖。
“IC创新奖”由当前我国国外集成电路创新第一阵容主办，面向国外集成电路产业链上下游企事业本单位征集，重点鼓励集成电路新型技术创新、成果产业化、产业链上下游合作多，是集成电路产业最关键因素的的新型技术奖项变成，当中新型技术创新奖项旨在表彰在集成电路重大新型技术创新和关键因素新型技术开发诸多方面胜利重大突破的本单位和强强大团队。据了解摘得整体行业重磅赛事的关键因素的奖项，依然彰显出东方晶源在电子束检测、量测相关领域的新型技术超强实力和整体行业的最高高度认可。
检测是芯片制造厂商大幅全面提升良率的关键因素形式。电子束检测设备兼具超高精度，在高端芯片制造整个过程发挥的中起 变得大。目前智能汽车品牌排行榜为止，该类设备被国外厂商垄断，变成制约当前我国芯片制造自主可控的关键因素瓶颈。东方晶源数年磨剑，成功后研声响国外首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505，可智能汽车品牌排行榜应用应用提供的纳米级缺陷检测和数据分析无法解决 方案。目前为止已并对当前我国头部芯片制造厂商产线验证，验证最智能汽车品牌排行榜终结果结果表明其次指标与国外一线对标机台不低于同等基础水平，成功后无法解决 当前我国在电子束检测相关领域的关键因素新型技术无法解决 。
东方晶源在电子束检测、量测相关领域已深耕多年并成功后值得注意推出多款设备，胜利重大突破。除据了解获奖的电子束缺陷检测设备EBI外，旗下首台12英寸关键因素尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于今年今年年初今年年初年底6月正式进入产线验证，目前为止态势完成成熟制程量产验证，图像质量清晰，与POR 的CD差异能消费需求相关要求，性能依然改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于今年今年年初今年年初年底年底3月正式进入产线验证，目前为止也已正式进入准客户产线小规模试产。当中，东方晶源还于上周近期发布了电子束缺陷复检设备（DR-SEM），目前为止该设备工程机（Alpha机）也已并对首轮wafer demo，可以可以能消费需求28nm及不低于和制程能消费需求，Beta机集成工作中加速推进中，已胜利准客户订单，正式进入产线验证指日可待。
变成那家聚焦集成电路良率管理相关领域，以大幅全面提升芯片制造门槛为使命的半导体中小企业 ，东方晶源依然以研发创新为迅速发展核心，随着丰富其他产品矩阵并大幅全面提升其他产品性能，填补多项国外空白。相信未来，东方晶源将依然立足一体化应用软件平台近期发布和检测装备两大相关领域，以准客户为三个中心，以当前市场为导向，随着并对新型技术突破与其他产品创新，与当前我国集成电路产业上下游中小企业 勠力同心，推动当前我国集成电路制造产业依然高速迅速发展。