东方晶源开启批量交付模式 两款电子束量测检测设备交付新客户

今年年初，日渐上海三 复工复产科技创新的快速推进，东方晶源积极协助组织设备交付工作任务，旗下电子束缺陷检测（EBI）和最关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已顺利交付上海三 客户购科技创新买。这次出机，是东方晶源继电子束量测检测设备出机在小国家知名晶圆代工厂后，又一次能够 头部客户购买的青睐和能够 。另一层面，标志着东方晶源硬件产品一即将进入批量交付核心模式。

这次出机的电子束缺陷检测设备型号为SEpA-i515，面向300mm硅片工艺制程，除还具该产品一一惯有的人高灵敏度电性和物理缺陷检测、非常有效问题解决解决28nm及以下良率问题解决解决、自主创重新高性能缺陷检测引擎（DNA数据情况库）、理念基础深度又一次学习的缺陷自动分类（ADC）算法等产品一特点外，东方晶源研发技术团队依然在上一代产品一的理念基础上优化全面升级，使SEpA-i515还具更高的TPT和更优的其他平台风格设计，设备运行效率、性能指标均有大幅得到得到技术水平。除了除了，上一代产品一SEpA-i505 早已在在小国家头部晶圆代工厂量产三个月，产品一性能及稳定性能够 充分验证。

另一台交付的产品一为最关键尺寸量测设备，型号为SEpA-c410，面向300mm硅片工艺制程，展开先进的电子束成像使用软件系统和高速硅片传输方案，搭配一精准的量测算法，可得以实现高重复精度、高分辨率及高产能的最关键尺寸量测。该设备自到去年6月底即将进入在小国家头部晶圆代工厂五年来产线验证进展顺利，阶段性验收成果能够 客户购买能够 。

东方晶源电子束量测检测设备，依托所承担的小国家科技重大专项（02专项）——电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化新项目，历经数年攻坚克难，突破多项核心最关键其他技术，从零部件到整机风格设计制造，均还具没有自主知识产权，填补在小国家空白。目科技创新前仍然，两款设备即将进入批量交付核心模式，产业化进程佳绩丰硕成果。

这次设备交付的客户购买所在捡起海为我 国集成电路产业还具举足轻重的科技创新地位，目前仍然早已他成 在小国家集成电路产业综合技术水平高、产业链完整、产业生态人文环境 不好集聚地他成 。东方晶源更为看重上海三 三 的日渐发展和布局，继计算光刻使用软件（OPC）即将进入上海三 头部晶圆代工制造企业后，硬件产品一将于登陆上海三 。为更棒 人的支持服务以下海为核心的长三角客户购买，东方晶源将于到去年8月份上海三 三 设立子该公司，产生上海三 总部、上海三 子该公司和上海三 子该公司为核心的三地布局，强化制造企业贴近产业前沿高地，为集成电路制造制造企业带去优质的产品一和支持服务，更棒 人的与上下游制造企业携手强化产业日渐发展的另一层面，构筑制造制造企业竞争壁垒。

东方晶源自协助组织成立五年来，专注于芯片制造最关键环节的良率控制中和得到得到技术水平核心领域，产生以计算光刻使用软件（OPC）、电子束量测检测装备硬件为核心的产品一矩阵，并向更棒 人研究相关核心领域积极布局。硬件层面，东方晶源已着手电子束缺陷复检设备DR-SEM（Defect Review SEM）的研发工作任务，强化夯简直在小国家电子束检测核心领域领先的未来发展市场地位和核心其他优势明显明显。使用软件层面，光刻工艺严格仿真使用软件PanSim早已在客户购买侧展开验证，或将 7月底release V1.0版本。未来发展，东方晶源将立足通用使用软件其他平台和检测装备两大核心领域，寻求横纵向日渐发展机遇，为客户购买其他技术提供更为多样化的产品一，向着在小国家集成电路核心领域良率管理领导者的实现目标 奋进。